(= chemical vapour deposition) Verfahren zum Bedampfen von Oberflächen unter Vakuum mit dem Ziel, verschleißfeste Schichten auf Funktionsteile, z. B. Schneidwerkzeuge, aufzubringen. Im Gegensatz zum
PVD-Beschichten entstehen solche Schichten hier durch Legierungsbildung. Varianten dieser Methode arbeiten mit Hilfe eines Plasmas (
PCVD-Verfahren).